北方华创(002371.SZ)：已发布应用于晶边刻蚀工艺的首台国产12英寸CCP晶边刻蚀设备Accura BE
2023-08-10 11:14:38 来源: 格隆汇
(资料图片)
格隆汇8月10日丨有投资者向北方华创(002371)(002371.SZ)提问，“今年7月18日有新闻报道贵司发布国产首台12英寸等离子体晶边蚀刻机Accura BE且已量产，请问是否属实，该机器交付情况如何，是否已投入使用？”
北方华创回复称，公司近日发布了应用于晶边刻蚀工艺的首台国产12英寸CCP晶边刻蚀设备Accura BE，该设备已在客户端量产，其优秀的工艺均匀性、稳定性及快速维护能力赢得客户高度评价。
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