微导纳米回复科创板首轮问询 上交所关注16个问题

微导纳米以原子层沉积(ALD)技术为核心，主要从事先进微、纳米级薄膜沉积设备的研发、生产和销售，向下游客户提供先进薄膜沉积设备、配套产品及服务。

财务数据显示，公司2018年、2019年、2020年、2021年前9月营收分别为4,191.06万元、2.16亿元、3.13亿元、2.31亿元;同期对应的净利润分别为-2,827.47万元、5,455.11万元、5,701.44万元、2,055.48万元。

在科创板首轮问询中，上交所主要关注微导纳米科创属性、主要产品、市场地位、产销及存货情况、销售和主要客户、收入、采购和供应商、期间费用、应收票据及应收款项、委托经营及解除情况等16个问题。

关于科创属性，上交所要求发行人说明：(1)发行人主要产品与我国最新产业政策文件重点支持产 品的匹配情况及收入占比;(2)发行人核心技术在生产与服务中的具体应用， 结合委托先导智能加工装配的情况及直接材料成本占比，说明发行人核心生产 工序与非核心生产工序的划分，发行人进行组装、检测和调试的技术难度，区 分应用领域说明发行人技术先进性与技术壁垒的具体体现;(3)发行人针对 TOPCon 电池和 HJT 电池薄膜沉积的技术研发及产品销售情况，结合技术指标 对比，说明发行人相关产品是否具有技术竞争优势;(4)前述三大技术路线在 光伏领域的市场份额占比情况与技术难度差异，各技术路线的发展趋势及相互 转换的难度，ALD 技术能否应用于新型电池技术路线，结合三类技术的优劣势、 下游技术路线变化情况、客户需求、设备成本，说明光伏领域 ALD 技术是否存在被取代的风险。

微导纳米回复称，公司报告期内主营业务收入中除零星的备品备件外，专用设备及设备改造业务均应用了公司的核心技术，均属于我国产业政策文件重点支持产品。

2018-2021 年，公司相关业务收入分别为3,898.03万元、20,194.69万元、30,141.22万元、42,301.11万元，占营业收入比重分别为 93.01%、93.57%、96.44%、98.85%。其中 2021年度属于光伏领域产业政策支持的业务收入为39,781.11万元，占营业收入比例为 92.96%，属于半导体领域产业政策支持的业务收入为 2,520.00万元，占营业收入比例为 5.89%。

公司产品生产涉及的核心工序包括工艺设计、产品设计、系统集成、设备功能检测、厂内工艺调试、现场安装与调试等步骤。公司早期与先导智能合作的业务实质为外协采购，主要系满足公司当时业务发展阶段和业务体系下的生产需要，涉及的工序环节包括元器件采购、组装的部分工序，均为公司产品的非核心工序。公司直接材料成本占比较高，与公司生产组织模式具有相关性，与同行业可比公司基本相当。

ALD 技术因其独特的优势，展现出良好的应用前景，但其产业化过程中需要在提高沉积速率、连续化生产、提高镀膜质量、降低成本等方面进行技术突破，从而提升设备综合性能和竞争力。公司通过精确计算、流体力场仿真工作等方式，独立研发了喷淋板、双腔体热壁反应器配合高速反应气体切换、反应源输送等设计方案，并结合有效能量控制，不断对工艺进行优化，实现了ALD设备在生产性能和薄膜质量等方面的技术领先优势。公司的 ALD 设备已在市场中得到了主流客户的认可，并取得良好的市场口碑。

在光伏领域，公司在保证薄膜质量的前提下，实现了超大装载量和超高产能的ALD设备批量化应用，并不断开发新型技术用于新型高效电池生产。

在半导体领域，公司产品实现了高质量薄膜的沉积，解决了先进制程中薄膜沉积均匀性、金属污染及颗粒污染等工艺难题，满足了先进器件产品生产要求。设备的镀膜质量、产能水平、稳定运行能力等方面均达到国际同行业水平。

公司所拥有的技术均为自主研发，具备创新性及先进性，具备较高的技术壁垒。

从技术原理来看，PVD、CVD、ALD 在新型高效电池中都有应用空间，其中PVD应用环节相对单一，CVD和ALD可能的应用环节较多。

效率上限决定了何种电池技术路径有更长远的利润释放，是电池技术路径升级的判断标准，而成本决定了短期何种电池技术可以最早实现量产。目前下一代高效电池技术中，从客户需求、投资成本角度来看，TOPCon 电池在产业化过程中已获得先发优势。ALD(包括 TALD 和 PEALD)应用于 TOPCon 的Al2O3 钝化层、隧穿氧化层验证情况较好，且在其他类型电池中应用前景广泛。

综合来看，光伏领域 ALD 技术不存在被取代的风险。

目前公司在下一代高效光伏电池的技术研发主要围绕TOPCon电池展开，主要是从下游产线成熟度角度出发。公司的 ALD 技术可用于 TOPCon 电池隧穿层和钝化层的沉积，并且还一并研发了用于 TOPCon 电池减反层、多晶硅层的PECVD 技术，以更好的为下游电池厂商提供薄膜沉积的整体解决方案，目前相关设备已向客户发货，处于产业化验证中。除此之外，公司在其他新型高效电池技术方面的技术储备、设备试制、协同客户推动产业化落地工作也在同步开展。

下游技术路线处于多种技术并行状态，虽然公司的 ALD 技术已在 TOPCon电池应用中展现出一定的优势，但如果未来其他电池技术路线的产线投资和运营成本显著下降，而公司的 ALD技术、CVD技术未能在该电池技术路线的应用上形成有效突破，则会对公司在未来在光伏领域的发展造成不利的影响。因此，公司在招股说明书“重大事项”中就技术迭代及新产品开发风险披露如下：

“公司所生产的薄膜沉积设备属于技术密集型产品，产品技术含量和附加值高。随着技术和应用领域的不断发展，下游客户对薄膜沉积设备工艺路线、材料类型、技术指标等要求也不断变化，因此会对产品提出新的要求。公司只有不断紧跟行业技术发展趋势、及时研发可满足行业技术要求的产品，方能在竞争中保持优势地位。

如果公司未能准确理解下游客户的产线设备及工艺技术演进需求，或者技术创新产品不能契合客户需求，如无法持续提供满足 PERC 电池降本增效的产品、无法适应未来新型高效电池(TOPCon、HJT 等)或半导体制造工艺制程继续提高等新的应用需求，可能导致公司设备无法满足下游生产制造商的需要，从而可能对公司的经营业绩造成不利影响。”(陈蒙蒙)