【全球独家】华特气体6.46亿元可转债申请获批 半导体用特种气体加速国产替代

本报记者 李昱丞 见习记者 解世豪

11月25日，华特气体发布公告，称其向不特定对象发行可转债申请获得上交所审议通过。此次拟募资总额不超6.46亿元，其中3.83亿元用于年产1764吨半导体材料建设项目，7300万元用于研发中心建设项目，其余1.9亿元用于补充流动资金。

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“我国是全球半导体消费大国，半导体行业景气度持续走高，但国内半导体用电子气体市场一直被国际巨头垄断，为我国半导体供应链的健康发展带来了不确定性。华特气体募投项目中的产品应用于半导体生产的关键环节，该项目的实施有助于提升公司产能，扩大公司经营规模，从而带动本土企业积极参与国际竞争，推动国产替代的发展进程。”深度科技研究院院长张孝荣向《证券日报》记者表示。

募资加码半导体用特种气体

华特气体主营业务以特种气体的研发、生产及销售为核心，辅以普通工业气体、气体设备与工程业务，打造一站式服务能力，能够面向全球市场提供气体应用综合解决方案。

据悉，在半导体材料中，电子特种气体几乎渗透到集成电路生产的每个环节，对集成电路的性能、集成度和成品率都有重大影响，被称为半导体制造的“粮食”。

此次募投项目中的1764吨半导体材料建设项目实施主体为华特气体全资子公司江西华特电子化学品有限公司，建设地位于江西省九江市永修县经济开发区星火工业园，预计建设期为2年，项目总投资4.66亿元，建成后将生产高纯一氧化碳、高纯一氧化氮、六氟丙烷及异构体、溴化氢、三氯化硼、超高纯氢气、超纯氪气、超纯氖气、超纯氦气和超纯氙气共1764吨。

华特气体表示，募投项目产品均为电子特种气体，广泛应用于半导体生产的蚀刻、掺杂、沉积等工艺。其中，高纯一氧化碳、高纯一氧化氮、超高纯氢气及超纯稀有气体系公司原有的优势产品，近年来下游需求不断增长，目前公司产能出现瓶颈，亟须扩产。

而高纯六氟丙烷、电子级溴化氢和电子级三氯化硼为公司规划的新产品，相关产品均着眼于下游半导体等应用领域的未来发展趋势，结合下游客户的需求所布局，相关产品均具备较大的未来市场空间和国产化替代空间。

事实上，华特气体扩产电子特种气体的动作不止于此。公司还曾于9月26日晚发布公告表示，拟与江苏省如东沿海经济开发区管理委员会签订项目建设协议书。公司拟于江苏省如东沿海经济开发区建设生产基地，项目总投资5亿元。建成后可生产2000吨/年高纯氟碳气体、1000吨/年高纯二氧化碳和1000吨/年高纯氧化亚氮等电子气体。

加速实现国产替代

根据Linx数据，半导体所消费的特种气体占全部电子特种气体的73.1%，显示面板为19.4%，化合物半导体及LED为4.4%，光伏为3.1%。根据TECHCET数据，全球电子特种气体的市场规模2021年进一步增长至45.38亿美元，预计2025年全球市场规模突破60亿美元，2021-2025年CAGR为7.3%。

不尽如人意的是，电子特种气体地位重要且市场空间广阔，但目前国内自主生产的电子特种气体市场份额占比较小，还有较大的突破空间。华特气体表示，长期以来，我国6N及6N以上的超高纯气体以及半导体前驱体材料主要依赖于国外进口，国内行业内企业亟待能够打破国外垄断、实现国产替代，形成自主可控的产业集群。

以华特气体此次规划的新产品电子级三氯化硼为例，电子级三氯化硼是用于半导体和集成电路领域的高纯度三氯化硼，其纯度需要达到99.99%以上。电子级三氯化硼主要应用于电子工业硅半导体器件和集成电路生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺，其杂质含量和纯度直接影响半导体器件和集成电路的性能指标和良率，纯度一般要求在5N以上，生产技术壁垒较高。

目前，全球电子级三氯化硼主要由日本宇部兴产、日本昭和电工等国外气体厂商垄断，属于被外资企业“卡脖子”的关键产品，对我国集成电路产业链的自主可控产生了较大威胁。

华特气体相关负责人表示，“公司本次募投项目规划电子级三氯化硼共300吨，主要目标是对目前我国集成电路等领域使用的电子级三氯化硼产品进行一定程度的国产替代。同时也有同行业其他公司在向这个目标努力。本次募投项目将进一步提高半导体材料国产化率，此外还能进一步完善公司产品布局，扩充公司气体产品种类，为公司后续的业绩贡献新的利润增长点。”

（编辑 袁元）